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半導(dǎo)體/芯片制造:在晶圓制造的光刻、蝕刻、薄膜沉積等核心工序中,光刻機、蝕刻機等設(shè)備需要持續(xù)、穩(wěn)定的冷卻,任何微小的溫度波動(通常要求控制在±0.5℃甚至更高精度)都可能影響線寬和電路圖形精度,導(dǎo)致產(chǎn)品良率下降。閉式冷卻塔的閉式循環(huán)系統(tǒng)能徹底杜絕水垢和雜質(zhì)堵塞設(shè)備內(nèi)部精密水路的風(fēng)險,保障芯片良率(有案例顯示良率從92%提升至97.5%)。
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光伏硅材料制備:
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單晶硅拉制(單晶爐冷卻):單晶硅棒在拉制過程中,單晶爐需要持續(xù)、穩(wěn)定的冷卻。閉式冷卻塔能為單晶爐的爐體、電極以及變壓器提供潔凈的冷卻水,其穩(wěn)定的溫度控制對保障硅棒品質(zhì)至關(guān)重要。
		
	
光伏組件層壓與固化:組件生產(chǎn)中的層壓和固化工序會產(chǎn)生大量熱量,需要可靠冷卻。閉式冷卻塔能保障這些工藝設(shè)備的溫度穩(wěn)定,有的案例中良品率可維持在98%以上。
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鋰電池制造:鋰電池生產(chǎn)對生產(chǎn)環(huán)境的溫濕度、潔凈度有著近乎苛刻的要求。
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電極涂布機冷卻:涂布輥筒的溫度均勻性直接影響涂布質(zhì)量和厚度一致性。閉式冷卻塔通過提供穩(wěn)定溫度的冷卻水,幫助精確控制輥筒溫度,確保極片質(zhì)量。
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干燥房空調(diào)系統(tǒng)冷卻:電極干燥房對露點溫度要求極低,空調(diào)表冷器需要低溫冷水。閉式系統(tǒng)能提供穩(wěn)定的冷源,確保干燥房露點穩(wěn)定,防止電池吸潮。
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電池材料生產(chǎn):在正負極材料等前端材料生產(chǎn)環(huán)節(jié),閉式冷卻塔為工藝冷卻水系統(tǒng)(PCW)和空調(diào)系統(tǒng)提供穩(wěn)定、精準的冷卻控制方案,提升電池材料品質(zhì)。
		
	
高端電子材料生產(chǎn):例如化成箔(用于電容器,廣泛應(yīng)用于新能源、通信等領(lǐng)域)、印刷電路板(PCB)等。
		
	
在化成箔生產(chǎn)的電化學(xué)氧化環(huán)節(jié),會產(chǎn)生大量熱量,對冷卻系統(tǒng)水質(zhì)和穩(wěn)定性要求極高。閉式冷卻塔能有效隔絕外界風(fēng)沙粉塵,防止其污染工藝水質(zhì),從而避免產(chǎn)品良率下降。